
半导体混合键合设备:先进封装与高带宽互连驱动的关键装备市场半导体混合键合设备是面向晶圆对晶圆、芯片对晶圆及芯片对芯片先进封装工艺,完成高精度对准、表面活化、贴合、预键合、热处理和过程控制的核心制造装备。混合键合通常在介质层与金属互连区域同时形成永久连接,以铜-铜互连和氧化物-氧化物键合作为代表,可在显著缩小互连间距的同时降低寄生电容、电阻和信号传输距离。QYResearch即将推出《全球半导体混合键合设备行业研究报告》,围绕市场规模、设备类型、工艺路线、竞争格局、产业链、区域机会及客户验证趋势展开系统研究,为晶圆厂、封装测试企业、存储器厂商、先进封装平台、设备与零部件供应商及投资机构提供决策参 ......
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